随着精密制造和光电子领域的快速发展,对机械运动部件相关参数的高精度实时检测变得越来越重要。为实现物体纳米精度的微位移传感与测量更是具有至关重要的意义。精密制造业中精细加工质量的保证取决于设备中主要传感器给出的传感精度,没有高精度的传感手段和仪器,加工精度根本无法保证。我们知道在精密仪器中,任何复杂的执行动作都是由齿轮的转动、微镜的转动、传动杆的滑动以及活塞的往复运动等单元动作组合而成,这些单元动作都可转换成两垂直方向的微位移。因此,任何操作的准确实现都是基于两垂直方向微位移的准确控制,而微位移的准确控制的前提是它们的高精度传感和测量。
全光纤位移干涉测速仪是一种用于安全科学技术领域的计量仪器,利用等光程相干原理和光纤延迟线,大大降低了系统对光源相干性及带宽的要求。系统造价低廉,调试简单,轻巧易于使用,能够灵活更换延迟光纤满足不同的测试要求,有着广泛的应用前景。但采用的光纤准直器口径普遍较小,一般在毫米量级,工作距离有限,在漫反射情况下难以收集漫反射光。
全光纤位移干涉测速仪的特点:
1、采用交流放大器,更稳定,抗环境干扰能力更强;
2、采用高倍电子细分,可达纳米级分辨率;
3、采用光纤传输,装调更便捷,更容易实现多轴同步测量;
4、具备网口、USB口及ABZ正交编码等输出。